某晶圓廠內(nèi)，一臺(tái)進(jìn)口痕量氣體分析儀因故障停機(jī)，供應(yīng)商回復(fù)配件到貨周期需三個(gè)月，整條產(chǎn)線被迫降速，產(chǎn)量受到嚴(yán)重影響。隨著中美加稅持續(xù)升級(jí)，全球供應(yīng)鏈波動(dòng)不斷，長期依賴進(jìn)口儀器的局限性正在加速顯現(xiàn)——價(jià)格高昂、周期冗長、售后滯后，已成為中國半導(dǎo)體制造鏈條上不能承受之重。推進(jìn)核心檢測(cè)裝備的國產(chǎn)替代，不再是技術(shù)理想，而是應(yīng)對(duì)全球博弈下的現(xiàn)實(shí)必答題。就在4月11日，中國物流與采購聯(lián)合會(huì)公共采購分會(huì)發(fā)布倡議，號(hào)召鍛造“自主鏈核”，優(yōu)先采購國產(chǎn)尖端設(shè)備，將產(chǎn)業(yè)鏈的“斷點(diǎn)”轉(zhuǎn)化為自主可控的“核心支點(diǎn)”（點(diǎn)擊閱讀原文）。中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)同日發(fā)布《關(guān)于半導(dǎo)體產(chǎn)品“原產(chǎn)地”認(rèn)證規(guī)則的緊急通知》，明確“晶圓流片地即原產(chǎn)地”的認(rèn)定原則，強(qiáng)化制造主權(quán)，也直指高端科學(xué)儀器必須自主掌控的核心痛點(diǎn)（點(diǎn)擊閱讀原文）。政策引導(dǎo)與產(chǎn)業(yè)倒逼正加速共振。國產(chǎn)檢測(cè)裝備正在迎來關(guān)鍵窗口期，國產(chǎn)替代步入“從可用到主用”的深水區(qū)。變局當(dāng)前，退無可退。倒逼突圍，箭在弦上。聚光科技，正是這場(chǎng)“從可用到主用”的國產(chǎn)攻堅(jiān)戰(zhàn)中的破局者。聚光科技依托二十余年在光譜、色譜、質(zhì)譜與自動(dòng)化等領(lǐng)域的技術(shù)積淀，積極推出高度定制化、系統(tǒng)自動(dòng)化的半導(dǎo)體行業(yè)專用創(chuàng)新產(chǎn)品與解決方案，在潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測(cè)、半導(dǎo)體制程金屬污染檢測(cè)、半導(dǎo)體電子特氣泄漏檢測(cè)等應(yīng)用領(lǐng)域完成國產(chǎn)化布局，幫助客戶提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，同時(shí)為國產(chǎn)科學(xué)儀器在高端檢測(cè)領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。
在電子級(jí)化學(xué)品和晶圓拋光片的生產(chǎn)車間，哪怕是萬億分之一濃度的金屬雜質(zhì)，都可能成為良率滑坡的罪魁禍?zhǔn)住?/span>譜育科技自主研發(fā)的EXPEC 7350系列ICP-MS/MS，采用創(chuàng)新三重四極桿架構(gòu)，穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)0.1ppt級(jí)別超高靈敏度，即便面對(duì)復(fù)雜基質(zhì)，也能精準(zhǔn)鎖定痕量雜質(zhì)。經(jīng)過數(shù)千小時(shí)連續(xù)測(cè)試，EXPEC 7350系列ICP-MS/MS在檢出限、長期穩(wěn)定性、氧化物產(chǎn)率等關(guān)鍵指標(biāo)上，全面超越國際同類標(biāo)準(zhǔn)，真正實(shí)現(xiàn)了高端材料檢測(cè)的自主可控。硅烷、磷烷、三氟化氮……在芯片工廠，這些特氣一旦泄漏，后果難以想象。針對(duì)特氣泄漏風(fēng)險(xiǎn)，譜育科技推出的GDM-2100 Series半導(dǎo)體氣體探測(cè)器，集成智能傳感器平臺(tái)，能夠精準(zhǔn)偵測(cè)40余種半導(dǎo)體特氣，為廠區(qū)安全運(yùn)行構(gòu)建起一道道堅(jiān)實(shí)防線。在實(shí)際應(yīng)用中，該系統(tǒng)已為某個(gè)12英寸晶圓項(xiàng)目提供全天候氣體泄漏監(jiān)測(cè)，有效提升了廠區(qū)的生產(chǎn)安全水平。GDM-2100 Series半導(dǎo)體氣體探測(cè)器
隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷邁向5nm乃至3nm，微量氣態(tài)污染也可能導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)檢測(cè)設(shè)備的靈敏度、穩(wěn)定性與響應(yīng)速度提出了前所未有的高標(biāo)準(zhǔn)。污染早發(fā)現(xiàn)、早控制，成為產(chǎn)線安全運(yùn)行的底層邏輯。
在半導(dǎo)體廠區(qū)，譜育科技AMC 1000微污染氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)通過分布式多點(diǎn)采樣，集成GC-MS、CRDS等先進(jìn)技術(shù)，將廠區(qū)空氣環(huán)境編織成一張無形的“感知之網(wǎng)”，實(shí)時(shí)鎖定ppb級(jí)污染風(fēng)險(xiǎn)。采樣管路覆蓋范圍可達(dá)200米，檢出限低至0.1ppb，幫助客戶第一時(shí)間預(yù)警微小污染源，防患于未然。
AMC 1000微污染氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
為了滿足快速布控與局部排查需求，譜育科技還推出了移動(dòng)推車式AMC監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，內(nèi)置大容量電池與獨(dú)立觸控終端，脫離市電也能持續(xù)監(jiān)測(cè)。
移動(dòng)推車式AMC監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在潔凈室，一臺(tái)痕量氣體分析儀穩(wěn)定運(yùn)行，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)車間環(huán)境中的氯化氫濃度。屏幕上報(bào)警信息同步推送，為產(chǎn)線調(diào)整爭(zhēng)取寶貴時(shí)間。
這臺(tái)設(shè)備正是聚光科技推出的SCA系列高精度痕量氣體分析儀。基于自主研發(fā)的CRDS技術(shù)，該設(shè)備可以在有限的光腔內(nèi)實(shí)現(xiàn)長達(dá)20千米的有效測(cè)量光程，對(duì)HF、NH?、HCl等有害氣體進(jìn)行ppb級(jí)別的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，各項(xiàng)指標(biāo)比肩進(jìn)口設(shè)備。
SCA系列高精度痕量氣體分析儀
在過去，國內(nèi)相關(guān)檢測(cè)設(shè)備在靈敏度與穩(wěn)定性方面始終受限，難以滿足先進(jìn)工藝對(duì)潔凈環(huán)境的極致要求。聚光科技成功打破國外在CRDS技術(shù)領(lǐng)域的長期壟斷，自主構(gòu)建起完整技術(shù)體系，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，助力半導(dǎo)體檢測(cè)實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)自主可控。
項(xiàng)目測(cè)試數(shù)據(jù)顯示，SCA系列高精度痕量氣體分析儀的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)與某進(jìn)口品牌設(shè)備相似度高達(dá)99.77%，氣體切換響應(yīng)時(shí)間領(lǐng)先10-20秒，成為產(chǎn)線上真正的“黃金救援助手”。
SCA系列（HCI）比對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)如今，聚光科技的高端檢測(cè)裝備已助力國內(nèi)多家晶圓廠、半導(dǎo)體材料等企業(yè)穩(wěn)步提升產(chǎn)線良率與本質(zhì)安全水平，為“中國芯”保駕護(hù)航。譜育科技EXPEC 7350系列已成功應(yīng)用于多家大型半導(dǎo)體企業(yè)。某寬禁帶半導(dǎo)體材料企業(yè)將該設(shè)備用于襯底拋光片、外延片及高純?cè)噭┲械暮哿拷饘贆z測(cè)。經(jīng)過半年使用，設(shè)備表現(xiàn)穩(wěn)定，客戶對(duì)其性能及售后服務(wù)給予高度認(rèn)可。
EXPEC 7350系列應(yīng)用于某寬禁帶半導(dǎo)體材料企業(yè)在國內(nèi)先進(jìn)制程芯片制造企業(yè)和8+12英寸集成電路制造企業(yè)，EXPEC 7350S型ICP-MS有效覆蓋G3~G5級(jí)化學(xué)品的質(zhì)控要求，實(shí)現(xiàn)了G5級(jí)硝酸、氫氟酸、雙氧水、IPA等試劑的過程品控。
在國內(nèi)領(lǐng)先的12寸硅片制造企業(yè)和化合物半導(dǎo)體制造企業(yè)，譜育科技利用VPD與7350S組合方案，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化監(jiān)測(cè)晶圓表面金屬離子沾污，滿足8-12寸硅片制造企業(yè)和化合物半導(dǎo)體制造企業(yè)的品控要求。
在某12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目中，GDM-2100 Series半導(dǎo)體氣體探測(cè)器為30余種有毒有害氣體建立了實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)體系，通過多層級(jí)報(bào)警聯(lián)動(dòng)機(jī)制，大幅提升了生產(chǎn)環(huán)境的本質(zhì)安全水平。
GDM-2100 Series半導(dǎo)體氣體探測(cè)器助力某12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目
國內(nèi)領(lǐng)先晶圓廠采用AMC 1000微污染氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)潔凈室酸、堿、VOC等多類污染物的ppb級(jí)連續(xù)監(jiān)測(cè)。系統(tǒng)支持多點(diǎn)分布式采樣與靈活移動(dòng)部署，為生產(chǎn)優(yōu)化與環(huán)境控制提供實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)支撐。
國內(nèi)領(lǐng)先晶圓廠采用AMC 1000微污染氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
某半導(dǎo)體廠在引入國產(chǎn)SCA系列高精度痕量氣體分析儀后，發(fā)現(xiàn)其檢測(cè)精度與進(jìn)口設(shè)備相當(dāng)，響應(yīng)速度快，運(yùn)行穩(wěn)定，隨即加購一臺(tái)。客戶反饋：“性能對(duì)標(biāo)進(jìn)口，服務(wù)響應(yīng)更快，國產(chǎn)儀器完全可以放心用?！?/span>以科技自強(qiáng)
擎起中國“芯”力量
聚光科技，用科技創(chuàng)新擦亮了國產(chǎn)檢測(cè)裝備的底色，夯實(shí)了半導(dǎo)體制造的技術(shù)根基。
創(chuàng)新，從未止步；責(zé)任，始終在肩。
未來，聚光科技將繼續(xù)錨定國家戰(zhàn)略所需，聚焦產(chǎn)業(yè)發(fā)展所急，深耕高端科學(xué)儀器領(lǐng)域，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走得更穩(wěn)、更遠(yuǎn)、更強(qiáng)。
以科技之光，照亮制造強(qiáng)國之路；以自主之力，支撐中國“芯”脈向上生長。
